1.動(dòng)態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器具有固有頻率高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短的特點(diǎn)，由于極板與小而薄的活動(dòng)件之間的靜電吸引很小，可以在幾兆赫的頻率下工作。特別適用于振動(dòng)測(cè)量和瞬時(shí)壓力測(cè)量等動(dòng)態(tài)測(cè)量。
2.高阻抗、低功耗
電容式傳感器由于極板間的靜電吸引很?。s10-5N），所以所需的*小輸入能量，因此適合于解決測(cè)量低能量輸入的問題，如測(cè)量極低、極小的力和加速度的壓力。定量、位移等，可以非常靈敏，分辨率很高，可以感覺到0.001畝甚至更小的位移。
3.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適應(yīng)性強(qiáng)
電容式傳感器是一種可以測(cè)試導(dǎo)體或半導(dǎo)體，可以在惡劣環(huán)境下工作的傳感器。電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于制造、體積小等特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)一些測(cè)量?？稍诟叩蜏亍?qiáng)輻射和強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣環(huán)境下工作，也可與磁性工件測(cè)量。
4.非接觸測(cè)量可以達(dá)到平均效果
如轉(zhuǎn)軸振動(dòng)或偏心、小滾珠軸承徑向間隙等的非接觸測(cè)量，采用非接觸測(cè)量時(shí)，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工作表面粗糙度對(duì)測(cè)量的影響。
5.良好的溫度穩(wěn)定性
電容式傳感器的電容值一般不受電極材料的影響，有利于選擇溫度系數(shù)較低的材料，且由于其*小的發(fā)熱對(duì)穩(wěn)定性影響不大。